BANNER传感器应用举例

BANNER传感器应用举例—晶圆检测

2007-09-14 06:57:41

单位】　　■晶圆检测
　　目的：检测晶圆盒中的晶圆
　　应用：激光发射器发出细小光束，带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上，当升降器上下运动时检测。
　　传感器：M12E2LD & Q23SN6R w/AR19-00，加装一个0.5mm（0.020）矩形光缝
　　

　　
　　■300mm晶圆检测
　　目的：检测300mm FOUP中晶圆的有无
　　应用：两个PicoDot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿，则认为晶圆错位，此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用，可选用PD45VN6C50.
　　传感器：PD45VN6C200
　　

　　
　　■检测晶圆盒
　　目的：可靠检测各种颜色的晶圆盒
　　应用：晶圆盒由不同颜色的材料制成。VS1系列聚焦式传感器在焦点处具有很高的增益，使其不受晶圆盒颜色和材料的影响。
　　传感器：VS1AN5C10
　　

　　
　　■检测晶圆是否探出
　　目的：检测是否有凸出于晶圆盒的晶圆
　　应用：向外凸出的晶圆容易被折断或损坏，这会减少产量并能导致停工。MD14BB6放大器配合SP8ER1远程传感器，可提供一个非常小（1.5mm）的有效光束，对射式最大的检测距离为300mm（12”）。
　　传感器：SP8ER1
　　放大器：MD14BB6
　　

　　
　　■晶圆盒储存设备人身保护
　　目的：在半导体晶圆盒储存设备的机械手操作点进行人身保护
　　应用：设备中有一个活动的机械手，当有人遮挡光幕时，机械手将停止动作。
　　传感器：MICRO-SCREEN安全光幕，USDKT2024C4YP2
　　

　　
　　■清洗槽中晶圆盒的检测
　　目的：检测清洗槽中晶圆盒的有无
　　应用：Teflon外壳的光纤安装在清洗槽中对称的两侧。Teflon包裹的光纤头不仅耐腐蚀而且在密封的液体容器中有很小的摩擦力。光纤还包含一个镜头以增大检测范围和有效光束。当清洗盒到位时，光束被阻断。
　　传感器：D12SN6FP
　　光纤：PIE46UT
　　

　　
　　■晶圆中心的检测
　　目的：确定机械臂上晶圆的中心
　　应用：三个检测点用来检测机械臂上晶圆的中心。其中任何一条光束被阻断，系统控制器都会检测到。机械臂的编码器信息也输入到控制器，控制器分析传感器的输出以确定晶圆的位置。
　　传感器：D12SN6FP
　　光纤：PIT46UHT1
　　

　　
　　■检测晶圆的凸出/原点位置的确认
　　目的：确认两个状态;是否有突出的晶圆，机械臂的原点位置
　　应用：在移动门关上之前，对射式的M12发射器和EZ-BEAM接收器用来检测是否有晶圆凸出于晶圆盒;PicoDot系列传感器，具有精密的聚焦点用来检测晶圆的边缘，以确定机械臂的原点位置。
　　传感器：PD45VN6C200， S12接收器/M126发射器
　　

　　
　　■真空环境中晶圆的检测
　　目的：检测真空环境中机械臂上是否有晶圆
　　应用：在晶圆的传送过程中，机械臂上必须保证有晶圆。但是从外部无法检测晶圆是否存在。VFT-M8MVS可以连接真空室外部提供的一束光信号（在这种应用场合要使用两个）。特殊型号光纤IMT753SMVF（须成对使用）没有使用环氧材料或塑料，因为这种材料会对真空室产生污染。在真空室外部，塑料光纤PIF66UMVFA将光信号传送到放大器D12SN6FP.
　　传感器：D12SN6FP
　　光纤：VFT-M8MVS，PIF66UMVFA & ML753SMVF
　　

　　
　　■晶圆平整度的检测
　　目的：检测晶圆平面是否垂直于传感器检测轴
　　应用：MINI-BEAM专家型直接反射式传感器，带可见红光光源，能很好检测光亮平面的水平度。传感器的“示教”功能能使其确定一个很小的光检测窗口，所以它能检测位置不正确的晶圆。
　　传感器：SME312DV
　　

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