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BANNER传感器应用举例—晶圆检测

作者：　发布时间：2007-09-14 06:57:41　来源：　繁体版

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　　应用：MINI-BEAM专家型直接反射式传感器，带可见红光光源，能很好检测光亮平面的水平度。传感器的“示教”功能能使其确定一个很小的光检测窗口，所以它能检测位置不正确的晶圆。
　　传感器：SME312DV
　　

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