低成本、集成化促进微电机行业发展

　　微电机制造的自动化和生产的规模化

　　随着国际市场竞争的加剧，微电机产品的市场寿命愈来愈短，因而迫使制造商努力采用CAD／CAM等计算机辅助设计、制造技术，缩短产品研发周期。与此同时，出于成本因素的考虑，一些有实力的大公司还在加紧进行技术改造，积极开展自动化、无人化工厂试验，进一步采用成套自动化生产线制造微电机，以获取高的劳动生产率和产品质量。

　　微电机驱动与控制电路的集成化

　　电机驱动与控制采用集成电路后，其最大优点是电路简化，有利于电机的轻薄短小化，并使驱动精度和可靠性提高，同时降低成本。制造商现已开发出一种灵巧功率IC，它把低电压、高性能的控制电路与大功率驱动电路集成在一个芯片上，用作电机的驱动和控制，效果非常显著。一些制造商还开发出了应用功率MOS场效应管和控制逻辑电路的智能化微电机产品，实现了传统电机与电子技术的有机结合。

　　新原理微电机蓬勃发展

　　近年来人们借助微电子、精密机械加工及新材料、新生物等高新技术，研发出不少新原理的微电机，并在各种领域获得了广泛的应用。最具代表性的有片状微电机、超声波微电机、鞭毛电机、超微电机、仿生电机、形状记忆合金电机、光热电机、微波电机等。

　　片状微电机。即采用片状线圈、轴向磁路结构并具有微小型化特点的微电机，这是80年代初期发展起来的一种新型电机，其技术关键是线圈的制作。片状微电机对电子产品的小型化发展十分有益，其应用范围很广，特别是在OA、HA市场上有着广泛的应用。如用于HDD、FDD、LBP的主轴驱动以及盒式录放机、随身听、盘式磁带机、卡拉OK机、DAT、汽车立体声、CD、MD唱机的输带和卷盘等，其需求量相当可观。有专家断言：21世纪片状微电机应用化程度可形成数百亿元的市场规模。

　　超声波微电机。它是一
种由压电陶瓷元件的超声振动而获得机械力的新原理微电机，没有绕组和磁场部件，结构十分简单。

　　其特点是在低速下直接输出大转矩，具有单位体积输出转矩大；不要减速齿轮，采用改变频率或通电时间或相间相位差就可以控制转速，可将转速调节至零，制动力矩大，不需附加制动器；机械时间常数为几毫秒；由于无齿轮，因而噪音低；既不产生杂散磁场，也不受外界的磁场影响。其缺点是变换效率低。

　　鞭毛微电机。它是细菌在水中游动而使用的分子机械(由蛋白质分子而形成的机械)。鞭毛微电机在生物界中是唯一的旋转电机，也是现存世界上最小(直径50nm)的电机。未来鞭毛电机将广泛应用于生物领域，科学家们正设想开发活体执行器，如考虑在生物机器人上使用这种执行器；现在的电磁电机重量重，由于传输电力和信号需要很多的导线，因而在微观世界中无法使用。

　　超微电机。这是指那些形状非常小(1mm以下)、重量很轻，并且在同一块基板上(硅或其它材料)，采用微电子技术和微加工技术制造出的机电一体化传动产品。如美国Wisconsen大学采用LIGA技术和多层表面微加工技术制造的磁驱动微型电机，其转矩厚度仅40μm，直径285μm，由于它是以电磁力驱动，因此转矩和输出功率得到了很大改善。超微电机的量度时以微米为单位的，它的工作状况必须藉助于专用装置或仪器来观察。超微电机的应用前景十分广阔，特别是在人们尚未充分认识的微环境下，有待不断开创扩展。

　　展望未来，微电机行业必将随着电子、信息、汽车以及家电这些应用主战场的兴旺而注入更强大的发展动力。